https://oldena.lpnu.ua/handle/ntb/5715
Title: | Вирощування нанорозмірних кристалів Si методом газофазової епітаксії |
Authors: | Дружинін, А. О. Островський, І. П. Ховерко, Ю. М. Нічкало, С. І. |
Bibliographic description (Ukraine): | Вирощування нанорозмірних кристалів Si методом газофазової епітаксії / А. О. Дружинін, І. П. Островський, Ю. М. Ховерко, С. І. Нічкало // Дванадцята відкрита науково-технічна конференція професорсько-викладацького складу Інституту телекомунікацій, радіоелектроніки та електронної техніки Національного університету “Львівська політехніка” з проблем електроніки : тези доповідей, 7–9 квітня 2009 року / Національний університет “Львівська політехніка”. – Львів : Видавництво Національного університету “Львівська політехніка”, 2009. – С. 29. |
Issue Date: | 2009 |
Publisher: | Видавництво Національного університету "Львівська політехніка" |
URI: | https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/5715 |
Content type: | Article |
Appears in Collections: | Дванадцята відкрита науково-технічна конференція Інституту телекомунікацій, радіоелектроніки та електронної техніки. – 2009 р. |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.