https://oldena.lpnu.ua/handle/ntb/47579| Title: | Математична модель інтегрального ємнісного сенсора |
| Authors: | Теслюк, В. М. Лобур, М. В. Раєвський, П. Ю. Денисюк, П. Ю. |
| Affiliation: | Національний університет “Львівська політехніка” |
| Bibliographic description (Ukraine): | Математична модель інтегрального ємнісного сенсора / В. М. Теслюк, М. В. Лобур, П. Ю. Раєвський, П. Ю. Денисюк // Вісник Національного університету “Львівська політехніка”. — Львів : Видавництво Національного університету “Львівська політехніка”, 2004. — № 522 : Комп’ютерні системи проектування. Теорія і практика. — С. 175–180. |
| Bibliographic description (International): | Matematychna model intehralnoho yemnisnoho sensora / V. M. Tesliuk, M. V. Lobur, P. Yu. Raievskyi, P. Yu. Denysiuk // Visnyk Natsionalnoho universytetu "Lvivska politekhnika". — Lviv : Vydavnytstvo Natsionalnoho universytetu "Lvivska politekhnika", 2004. — No 522 : Kompiuterni systemy proektuvannia. Teoriia i praktyka. — P. 175–180. |
| Is part of: | Вісник Національного університету “Львівська політехніка”, 522 : Комп’ютерні системи проектування. Теорія і практика, 2004 |
| Journal/Collection: | Вісник Національного університету “Львівська політехніка” |
| Issue: | 522 : Комп’ютерні системи проектування. Теорія і практика |
| Issue Date: | 18-Feb-2004 |
| Publisher: | Видавництво Національного університету “Львівська політехніка” |
| Place of the edition/event: | Львів Lviv |
| UDC: | 621.3.049 |
| Number of pages: | 6 |
| Page range: | 175-180 |
| Start page: | 175 |
| End page: | 180 |
| Abstract: | Запропоновано математичну модель інтегрального ємнісного сенсора. Для розв’язання рівнянь в часткових похідних використано метод скінченних різниць. Наведені результати залежності вихідних характеристик від геометричних параметрів мікросенсора та діелектричної проникності зовнішнього середовища. In article mathematical model for integral capacitive sensor is proposed. For solving differential equation finite differences method is used. Dependences of output characteristics from geometrical parameter of microsensor and environment permittivity are presented. |
| URI: | https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/47579 |
| Copyright owner: | © Національний університет “Львівська політехніка”, 2004 © Теслюк В. М., Лобур М. В., Раєвський П. Ю., Денисюк П. Ю., 2004 |
| References (Ukraine): | 1. Gupta R.K., Zorian Y. Introducing in Core-Based System Design //Design & Test of Computer, Oct/Dec, 1997. 2. Muller, R. S. and K. Y. Pan, “Surface-Micromachined Microoptical Elements and Systems,” in Integrated Sensors, Microactuators, Microsystems (MEMS), Vol.86, No. 8, Aug. 1998. 3. Pister, K. S. J., et ai, “Microfabricated Hinges", Sensors and Actuators, Vol. A33, No 3, June 1992. 4. R. Jacob Baker, Harry W. li,Daxid Bouce. CMOS: Circuit Design, layout and Simulation. Jonh Wiley and Sons publishers. 1988, 902 p. 5. Maluf Nadim An introduction to microelectromechanical system egineering/ZLibrary of Congress Cataloging-in-Publication Data. 6. Зи С. Технология СБИС. - M. - 1986. 1, 2 m. 7. Моллер P., Кейшинс T. Элементы интегральных схем. - М, 1989 - 630 с. 8. Тилл У, Лаксон Дж. Интегральные схемы. М.: - 1985 - 504 с. 9. Таури Я. Основы технологии СБИС. М.: Радио и связь. 1985 - 480 с. 10. Митрофанов С.И. Групповая технология машиностроительного производства. - Л.: Машиностроение, 1983. - 779 с. 11. Тамм И.Е. Основы теории электричества: Учеб, пособие для вузов.-10-е изд., испр. - М.: Наука. Гл. Ред. Физ.-мат. Лит., 1989. - 504 с. 12. Марков Г.Т., Петров Б.М., Грудинскии Г. И. Электродинамика и распространение радиоволн: Учеб, пособие для вузов. - М: Сов. Радио, 1979. 376 с. 13. Максвелл Дж.К. Трактат об электричестве и магнетизме. В двух томах. Т.1.М.: Наука, 1989. 14. Тихонов А. Н., Самарский А. А. Уравнения математической физики. М.: Наука, 1966 - 724 с. 15. Годунов С.К., Рябенький В.С. Разностные схемы. - М.: Наука, 1973, - 400 с. 16. Самарский А. А. Теория разностных схем. - М.: Ноулса, 1983. - 432 с. |
| References (International): | 1. Gupta R.K., Zorian Y. Introducing in Core-Based System Design //Design & Test of Computer, Oct/Dec, 1997. 2. Muller, R. S. and K. Y. Pan, "Surface-Micromachined Microoptical Elements and Systems," in Integrated Sensors, Microactuators, Microsystems (MEMS), Vol.86, No. 8, Aug. 1998. 3. Pister, K. S. J., et ai, "Microfabricated Hinges", Sensors and Actuators, Vol. A33, No 3, June 1992. 4. R. Jacob Baker, Harry W. li,Daxid Bouce. CMOS: Circuit Design, layout and Simulation. Jonh Wiley and Sons publishers. 1988, 902 p. 5. Maluf Nadim An introduction to microelectromechanical system egineering/ZLibrary of Congress Cataloging-in-Publication Data. 6. Zi S. Tekhnolohiia SBIS, M, 1986. 1, 2 m. 7. Moller P., Keishins T. Elementy intehralnykh skhem, M, 1989 - 630 p. 8. Till U, Lakson Dzh. Intehralnye skhemy. M., - 1985 - 504 p. 9. Tauri Ia. Osnovy tekhnolohii SBIS. M., Radio i sviaz. 1985 - 480 p. 10. Mitrofanov S.I. Hruppovaia tekhnolohiia mashinostroitelnoho proizvodstva, L., Mashinostroenie, 1983, 779 p. 11. Tamm I.E. Osnovy teorii elektrichestva: Ucheb, posobie dlia vuzov.-10-e izd., ispr, M., Nauka. Hl. Red. Fiz.-mat. Lit., 1989, 504 p. 12. Markov H.T., Petrov B.M., Hrudinskii H. I. Elektrodinamika i rasprostranenie radiovoln: Ucheb, posobie dlia vuzov, M: Sov. Radio, 1979. 376 p. 13. Maksvell Dzh.K. Traktat ob elektrichestve i mahnetizme. V dvukh tomakh. V.1.M., Nauka, 1989. 14. Tikhonov A. N., Samarskii A. A. Uravneniia matematicheskoi fiziki. M., Nauka, 1966 - 724 p. 15. Hodunov S.K., Riabenkii V.S. Raznostnye skhemy, M., Nauka, 1973, 400 p. 16. Samarskii A. A. Teoriia raznostnykh skhem, M., Noulsa, 1983, 432 p. |
| Content type: | Article |
| Appears in Collections: | Комп'ютерні системи проектування теорія і практика. – 2004. – №522 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 2004n522_Tesliuk_V_M-Matematychna_model_intehralnoho_175-180.pdf | 302.8 kB | Adobe PDF | View/Open | |
| 2004n522_Tesliuk_V_M-Matematychna_model_intehralnoho_175-180__COVER.png | 424.51 kB | image/png | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.