https://oldena.lpnu.ua/handle/ntb/45225
Title: | Electrical model of vibratory micro angular velocity sensor |
Authors: | Nazdrowicz, Jacek Jankowski, Mariusz |
Affiliation: | Lodz University of Technology |
Bibliographic description (Ukraine): | Nazdrowicz J. Electrical model of vibratory micro angular velocity sensor / Jacek Nazdrowicz, Mariusz Jankowski // САПР у проектуванні машин. Задачі впровадження та навчання : матеріали XXVI Міжнародної українсько-польської науково-технічної конференції, 19-20 жовтня 2018 року, Львів. — Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2018. — С. 95–104. |
Bibliographic description (International): | Nazdrowicz J. Electrical model of vibratory micro angular velocity sensor / Jacek Nazdrowicz, Mariusz Jankowski // SAPR u proektuvanni mashyn. Zadachi vprovadzhennia ta navchannia : materialy XXVI Mizhnarodnoi ukrainsko-polskoi naukovo-tekhnichnoi konferentsii, 19-20 zhovtnia 2018 roku, Lviv. — Lviv : Vydavnytstvo Lvivskoi politekhniky, 2018. — P. 95–104. |
Is part of: | САПР у проектуванні машин. Задачі впровадження та навчання : матеріали XXVI Міжнародної українсько-польської науково-технічної конференції, 2018 |
Conference/Event: | XXVI Міжнародна українсько-польська науково-технічна конференція “САПР у проектуванні машин. Задачі впровадження та навчання” |
Journal/Collection: | САПР у проектуванні машин. Задачі впровадження та навчання : матеріали XXVI Міжнародної українсько-польської науково-технічної конференції |
Issue Date: | 19-Oct-2018 |
Publisher: | Видавництво Львівської політехніки |
Place of the edition/event: | Львів |
Temporal Coverage: | 19-20 жовтня 2018 року, Львів |
Number of pages: | 10 |
Page range: | 95-104 |
Start page: | 95 |
End page: | 104 |
URI: | https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/45225 |
ISBN: | 978-966-941-229-4 |
Copyright owner: | © Національний університет «Львівська політехніка», 2018 |
URL for reference material: | http://blog.ncue.edu.tw/sys/lib/read_attach.php?id=17430 https://ieeexplore.ieee.org/document/4433802/ |
References (Ukraine): | [1] Y. Zhang, X. Liu, W. Chen. “System-Level Modeling and Simulation of Force-Balance MEMS Accelerometers”. Journal of Semiconductors,5.Vol(29), 2008. pp. 917-922. [2] G. L. Teodor, “The Matlab/Simulink modeling and numerical simulation of an analogue capacitive micro-accelerometer. Part 1: Closed loop”, MEMSTECH, 2008. pp. 115-121. [3] B. Homeijer, D. Lazaroff, D. Milligan, R. Alley, J. Wu, M. Szepesi, B. Bicknell, Z. Zhang, R. G. Walmsley, and P. G. Hartwell, “Hewlett packard’s seismic grade MEMS accelerometer, ” in Proc. MEMS 2011,pp. 585-588. [4] B. E. Boser, R. T. Howe, Surface Micromachined Accelerometers, IEEE J. Solid-State Circuits, vol. SC-31, March 1996, pp. 366–375. [5] Steven Nasiri. A Critical Review of MEMS Gyroscopes Technology and Сommercialization Status. Inven Sense, 2003. http://blog.ncue.edu.tw/sys/lib/read_attach.php?id=17430. [6] M. Jankowski, P. Zajac, Andrzej Napieralski, Fully differential read-out circuitry components for MEMS-based accelerometers, IEEE Conference Proceedings of XIV-th International Conference Perspective technologies and methods in MEMS design, Polyana, UKRAINE, 18-22 April 2018, pp. 86-90. [7] C. Maj, A. Napieralski, “Mechanical simulation of 3-axis accelerometer using a single proof-mass”, 2017 XIIIth International Conference on Perspective Technologies and Methods in MEMS Design (MEMSTECH), 2017, pp. 47–50. [8] C. Maj, P. Amrozik, W. Zabierowski: “Meshing of symmetric structures in example of comb-drive accelerometer”. 2018 XIV-th International Conference on Perspective Technologies and Methods in MEMS Design (MEMSTECH), 2018, pp: 151-154. [9] Ramyar Rashed and H. Momeni, System Modeling of MEMS Gyroscopes, Procedings of the 15th Midterranean Conference on Control & Automation, July 27-29, 2007, Athens – Greece, https://ieeexplore.ieee.org/document/4433802/. |
References (International): | [1] Y. Zhang, X. Liu, W. Chen. "System-Level Modeling and Simulation of Force-Balance MEMS Accelerometers". Journal of Semiconductors,5.Vol(29), 2008. pp. 917-922. [2] G. L. Teodor, "The Matlab/Simulink modeling and numerical simulation of an analogue capacitive micro-accelerometer. Part 1: Closed loop", MEMSTECH, 2008. pp. 115-121. [3] B. Homeijer, D. Lazaroff, D. Milligan, R. Alley, J. Wu, M. Szepesi, B. Bicknell, Z. Zhang, R. G. Walmsley, and P. G. Hartwell, "Hewlett packard’s seismic grade MEMS accelerometer, " in Proc. MEMS 2011,pp. 585-588. [4] B. E. Boser, R. T. Howe, Surface Micromachined Accelerometers, IEEE J. Solid-State Circuits, vol. SC-31, March 1996, pp. 366–375. [5] Steven Nasiri. A Critical Review of MEMS Gyroscopes Technology and Sommercialization Status. Inven Sense, 2003. http://blog.ncue.edu.tw/sys/lib/read_attach.php?id=17430. [6] M. Jankowski, P. Zajac, Andrzej Napieralski, Fully differential read-out circuitry components for MEMS-based accelerometers, IEEE Conference Proceedings of XIV-th International Conference Perspective technologies and methods in MEMS design, Polyana, UKRAINE, 18-22 April 2018, pp. 86-90. [7] C. Maj, A. Napieralski, "Mechanical simulation of 3-axis accelerometer using a single proof-mass", 2017 XIIIth International Conference on Perspective Technologies and Methods in MEMS Design (MEMSTECH), 2017, pp. 47–50. [8] C. Maj, P. Amrozik, W. Zabierowski: "Meshing of symmetric structures in example of comb-drive accelerometer". 2018 XIV-th International Conference on Perspective Technologies and Methods in MEMS Design (MEMSTECH), 2018, pp: 151-154. [9] Ramyar Rashed and H. Momeni, System Modeling of MEMS Gyroscopes, Procedings of the 15th Midterranean Conference on Control & Automation, July 27-29, 2007, Athens – Greece, https://ieeexplore.ieee.org/document/4433802/. |
Content type: | Conference Abstract |
Appears in Collections: | САПР у проектуванні машин. Задачі впровадження та навчання. – 2018 р. |
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
2018_Nazdrowicz_J-Electrical_model_of_vibratory_95-104.pdf | 2.58 MB | Adobe PDF | View/Open | |
2018_Nazdrowicz_J-Electrical_model_of_vibratory_95-104__COVER.png | 932 kB | image/png | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.