https://oldena.lpnu.ua/handle/ntb/15174| Title: | Inelastic-elastic properties of SiO2, SiO2 + TiO2 + ZrO2 |
| Authors: | Onanko, A. P. Kulish, M. P. Lyashenko, O. V. Prodayvoda, G. T. Vyzhva, S. A. Onanko, Y. A. |
| Bibliographic description (Ukraine): | Inelastic-elastic properties of SiO2, SiO2 + TiO2 + ZrO2 / A. P. Onanko, M. P. Kulish, O. V. Lyashenko, G. T. Prodayvoda, S. A. Vyzhva, Y. A. Onanko // Оксидні матеріали електронної техніки – отримання, властивості, застосування (ОМЕЕ – 2012) : збірник матеріалів міжнародної наукової конференції, 3-7 вересня 2012 року, Львів, Україна / Національний університет “Львівська політехніка”. – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2012. – С. 81–82. – Bibliography: 6 titles. |
| Issue Date: | 2012 |
| Publisher: | Видавництво Львівської політехніки |
| Keywords: | elastic module internal friction structure defects dislocations microstructure |
| Abstract: | A non-destructive method for the technological control of the structure defects in SiO2 + Si wafers by measuring the internal friction background difference on the nearby harmonics f1 and f2 after mechanical and heat treatments. |
| URI: | https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/15174 |
| Content type: | Article |
| Appears in Collections: | Оксидні матеріали електронної техніки – отримання, властивості, застосування (OMEE-2012). – 2012 р. |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 32_81_82_OMEE_2012.pdf Restricted Access | 124.74 kB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.