https://oldena.lpnu.ua/handle/ntb/9757
Title: | Оптимізація технології виготовлення твердих планарних джерел бору |
Authors: | Мищишин, В. М. Богдановський, Ю. М. |
Bibliographic description (Ukraine): | Мищишин В. М. Богдановський Ю.М. Оптимізація технології виготовлення твердих планарних джерел бору / В. М. Мищишин, Ю. М. Богдановський // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2003. – № 491 : Елементи теорії та прилади твердої електроніки. – С. 86–90. – Бібліографія: 9 назв. |
Issue Date: | 2003 |
Publisher: | Видавництво Національного університету “Львівська політехніка” |
Abstract: | Оптимізовано технологію виготовлення твердих планарних джерел (ТПД) бору методом повного факторного експерименту. Досліджено вплив дисперсності і процентного вмісту компонентів дифузанту на максимальну температуру експлуатації ТПД бору. Optimization of technology for production of solid planar sources (SPS) of boron has been made by a method of full factor experiment. The influence of a dispersivity and percentage contents of components for a diffusant has been investigated on maximum exploitation temperature of SPS of boron. |
URI: | https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/9757 |
Content type: | Article |
Appears in Collections: | Елементи теорії та прилади твердотілої електроніки. – 2003. – №491 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.