https://oldena.lpnu.ua/handle/ntb/7473| Title: | Дослідження впливу конструкцій анкерів на роботу емнісних акселерометрів |
| Authors: | Теслюк, В. М. Каркульовський, Б. В. |
| Bibliographic description (Ukraine): | Теслюк В. М. Дослідження впливу конструкцій анкерів на роботу емнісних акселерометрів / В. М. Теслюк, Б. М. Каркульовський // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2010. – № 685 : Комп'ютерні системи проектування. Теорія і практика. – С. 83–87. – Бібліографія: 4 назви. |
| Issue Date: | 2010 |
| Publisher: | Видавництво Львівської політехніки |
| Keywords: | ємнісний акселерометр МЕМС анкер capacitive accelerometer МЕМS anchor |
| Abstract: | Досліджено вплив конструктивних особливлстей анкерів на вихідні параметри ємнісних конструкцій інтегральних акселерометрів. The article analyzes anchors influence of structural features on capacitive accelerometers integral structures output parameters. |
| URI: | https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/7473 |
| Content type: | Article |
| Appears in Collections: | Комп'ютерні системи проектування теорія і практика. – 2010. – №685 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.