https://oldena.lpnu.ua/handle/ntb/7399| Title: | The frequency characteristic Of MEMS beam resonator |
| Authors: | Bibikov, Тaras Bogdan, Oleksandr Petrishev, Oleg Yakymenko, Yuriy Bogdan, Tetiana |
| Bibliographic description (Ukraine): | The frequency characteristic Of MEMS beam resonator / Тaras Bibikov, Oleksandr Bogdan, Oleg Petrishev, Yuriy Yakymenko, Tetiana Bogdan // Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій, комп’ютерної інженерії : матеріали ХХ Міжнародної конференції TCSET2010, присвяченої 165-й річниці заснування Національного університету «Львівська політехніка», 23–27 лютого 2010 року, Львів, Славське, Україна / Національний університет «Львівська політехніка». – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2010. – С. 363. – Bibliography: 1 title. |
| Issue Date: | 2010 |
| Publisher: | Видавництво Львівської політехніки |
| Keywords: | MEMS resonator frequency Characteristic |
| Abstract: | In this paper the model of the MEMS (microelectromechanical systems) beam resonator. |
| URI: | https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/7399 |
| Content type: | Article |
| Appears in Collections: | Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій, комп'ютерної інженерії (TCSET'2010). – 2010 р. |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.