https://oldena.lpnu.ua/handle/ntb/6198| Title: | Model of a piezoelectric microaccelerometer based on two piezoelectric plates separated by a layer of polysilicon |
| Authors: | Kushnir, Yurij Lobur, Mykhaylo |
| Bibliographic description (Ukraine): | Kushnir Y. Model of a piezoelectric microaccelerometer based on two piezoelectric plates separated by a layer of polysilicon / Y. Kushnir, M. Lobur // Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій, комп'ютерної інженерії : матеріали ХХ Міжнародної конференції TCSET2010, присвяченої 165-й річниці заснування Національного університету «Львівська політехніка», 23–27 лютого 2010 року, Львів, Славське, Україна / Національний університет «Львівська політехніка». – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2010. – С. 51. – Bibliography: 1 title. |
| Issue Date: | 2010 |
| Publisher: | Видавництво Львівської політехніки |
| Keywords: | MEMS accelerometer piezoelectric effect FEM ANSYS |
| Abstract: | This paper presents an alternative design solution for a piezoelectric sensor based on two plates separated by a polysilicon solid body. |
| URI: | https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/6198 |
| Content type: | Article |
| Appears in Collections: | Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій, комп'ютерної інженерії (TCSET'2010). – 2010 р. |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.