| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Лобур, М. В. | |
| dc.contributor.author | Свірідова, Т. В. | |
| dc.contributor.author | Теслюк, В. М. | |
| dc.date.accessioned | 2020-11-16T12:04:24Z | - |
| dc.date.available | 2020-11-16T12:04:24Z | - |
| dc.date.created | 2005-03-01 | |
| dc.date.issued | 2005-03-01 | |
| dc.identifier.citation | Лобур М. В. Аналіз кореляційних залежностей між механічними і електричними параметрами мікровбудованих систем / М. В. Лобур, Т. В. Свірідова, В. М. Теслюк // Вісник Національного університету “Львівська політехніка”. — Львів : Видавництво Національного університету “Львівська політехніка”, 2005. — № 534 : Радіоелектроніка та телекомунікації. — С. 147–152. — (Математичне моделювання та комп’ютерні технології). | |
| dc.identifier.uri | https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/55218 | - |
| dc.description.abstract | Наведено основні підходи щодо проектування мікроелектромеханічних актюаторів; рівняння для механічної та електричної моделей мікроактюаторів. Проведено дослідження кореляційних залежностей між конструктивними параметрами мікрорезонатора та його вихідними характеристиками. Як результат подано матрицю коефіцієнтів кореляції та надано рекомендації щодо проектування мікрорезонаторів. | |
| dc.description.abstract | In this paper main aspects of microelectromechanical actuators design are presented. Equations for mechanical and electrical model are carried out Correlation dependences of mechanical and electrical parameters are investigated. As result matrix of correlation is figure out and recommendations for successful design are given. | |
| dc.format.extent | 147-152 | |
| dc.language.iso | uk | |
| dc.publisher | Видавництво Національного університету “Львівська політехніка” | |
| dc.relation.ispartof | Вісник Національного університету “Львівська політехніка”, 534 : Радіоелектроніка та телекомунікації, 2005 | |
| dc.relation.uri | http://www.mems.ru | |
| dc.relation.uri | http://www.stdmems.com | |
| dc.title | Аналіз кореляційних залежностей між механічними і електричними параметрами мікровбудованих систем | |
| dc.type | Article | |
| dc.rights.holder | © Національний університет “Львівська політехніка”, 2005 | |
| dc.rights.holder | © Лобур М. В., Свірідова Т. В., Теслюк В. М., 2005 | |
| dc.contributor.affiliation | Національний університет “Львівська політехніка” | |
| dc.format.pages | 6 | |
| dc.identifier.citationen | Lobur M. V. Analiz koreliatsiinykh zalezhnostei mizh mekhanichnymy i elektrychnymy parametramy mikrovbudovanykh system / M. V. Lobur, T. V. Sviridova, V. M. Tesliuk // Visnyk Natsionalnoho universytetu "Lvivska politekhnika". — Lviv : Vydavnytstvo Natsionalnoho universytetu "Lvivska politekhnika", 2005. — No 534 : Radioelektronika ta telekomunikatsii. — P. 147–152. — (Matematychne modeliuvannia ta kompiuterni tekhnolohii). | |
| dc.relation.references | 1. www.ansys.com. | |
| dc.relation.references | 2. N. Debt, S.V. Iyer, Т. Mukherjee, R.D. Blanton “MEMS Resonators Synthesis for Defect Reduction”, Journal of Modelling and Simulation of Microsystems. - Vol. 2. - No. 1. - P. 11- 20, 2001. | |
| dc.relation.references | 3. Km Wang, Clark T. - C. Nguyen “High-order medium frequency micromechanical electronics filters”, IEEE J. of Microelectromechanical Systems. - Vol. 8 - No. 4 - Dec. 1998 - P. 534- 557. | |
| dc.relation.references | 4. L. Lin, R.T. Howe, A.P.Pisano “Micromechanical filters for signal processing”, IEEE J. of Microelectromechanical Systems. - Vol. 7. - No. 3 - Sept. 1998 - P. 286-294. | |
| dc.relation.references | 5. http://www.mems.ru. | |
| dc.relation.references | 6. M. Lobur, A. Napieralski, T. Sviridova “Application of CFDRC software for modeling of chosen microstructures” //Modem problems of radio engineering, telecommunications and computer science: Proceeding of the International Conference TCSET’2002, Lviv. - 2002. - P. 172-175. | |
| dc.relation.references | 7. http://www.stdmems.com. | |
| dc.relation.references | 8. T.B. Gabrielson, “Mechanical-thermal noise in miromachenid acoustic md vibration sensors”, IEEE Trans. On Electron. Dev. - 1993. - Vol 40. - P. 903-909. | |
| dc.relation.references | 9. K.-F. Bohringer, B.R. Donald, and N.C. MacDonald. Programmable vector fields for distributed manipulation, with applications to MEMS actuator arrays md vibratory parts feeders. Int. Journal of Robotics Research, Feb. 1999. | |
| dc.relation.references | 10. K.-F. Bohringer, B.R. Donald, N.C. MacDonald, G. T.A. Kovacs and J.W. Suh. Computational methods for design and control of MEMS micromanipulator arrays. IEEE Computer Science and Engineering, pages 17-29, January, March 1997. | |
| dc.relation.references | 11. H. Fujita. Group work of microactuators. In International Advanced Robot Program Work-shop on Micromachine Technologies and Systems, pages 24-31, Tokyo, Japan, Oct. 1993. | |
| dc.relation.references | 12. T. Furuhata, T. Hirano, and H. Fujita. Arraydriven ultrasonic microactuators. In Transducers Digest Int. Conf. on Solid-State Sensors and Actuators, pages 1056-1059, Montreux, France, June 1991. | |
| dc.relation.references | 13. H. Nakazawa, Y. Watanabe, and O. Morita. The two-dimensional micro conveyor: Principles and fabrication process of the actuator. In Transduc-ers Digest Int. Conf. on Solid- State Sensors and Actuators, volume 1, pages 33-36, Chicago. | |
| dc.relation.referencesen | 1. www.ansys.com. | |
| dc.relation.referencesen | 2. N. Debt, S.V. Iyer, T. Mukherjee, R.D. Blanton "MEMS Resonators Synthesis for Defect Reduction", Journal of Modelling and Simulation of Microsystems, Vol. 2, No. 1, P. 11- 20, 2001. | |
| dc.relation.referencesen | 3. Km Wang, Clark T, C. Nguyen "High-order medium frequency micromechanical electronics filters", IEEE J. of Microelectromechanical Systems, Vol. 8 - No. 4 - Dec. 1998 - P. 534- 557. | |
| dc.relation.referencesen | 4. L. Lin, R.T. Howe, A.P.Pisano "Micromechanical filters for signal processing", IEEE J. of Microelectromechanical Systems, Vol. 7, No. 3 - Sept. 1998 - P. 286-294. | |
| dc.relation.referencesen | 5. http://www.mems.ru. | |
| dc.relation.referencesen | 6. M. Lobur, A. Napieralski, T. Sviridova "Application of CFDRC software for modeling of chosen microstructures" //Modem problems of radio engineering, telecommunications and computer science: Proceeding of the International Conference TCSET’2002, Lviv, 2002, P. 172-175. | |
| dc.relation.referencesen | 7. http://www.stdmems.com. | |
| dc.relation.referencesen | 8. T.B. Gabrielson, "Mechanical-thermal noise in miromachenid acoustic md vibration sensors", IEEE Trans. On Electron. Dev, 1993, Vol 40, P. 903-909. | |
| dc.relation.referencesen | 9. K.-F. Bohringer, B.R. Donald, and N.C. MacDonald. Programmable vector fields for distributed manipulation, with applications to MEMS actuator arrays md vibratory parts feeders. Int. Journal of Robotics Research, Feb. 1999. | |
| dc.relation.referencesen | 10. K.-F. Bohringer, B.R. Donald, N.C. MacDonald, G. T.A. Kovacs and J.W. Suh. Computational methods for design and control of MEMS micromanipulator arrays. IEEE Computer Science and Engineering, pages 17-29, January, March 1997. | |
| dc.relation.referencesen | 11. H. Fujita. Group work of microactuators. In International Advanced Robot Program Work-shop on Micromachine Technologies and Systems, pages 24-31, Tokyo, Japan, Oct. 1993. | |
| dc.relation.referencesen | 12. T. Furuhata, T. Hirano, and H. Fujita. Arraydriven ultrasonic microactuators. In Transducers Digest Int. Conf. on Solid-State Sensors and Actuators, pages 1056-1059, Montreux, France, June 1991. | |
| dc.relation.referencesen | 13. H. Nakazawa, Y. Watanabe, and O. Morita. The two-dimensional micro conveyor: Principles and fabrication process of the actuator. In Transduc-ers Digest Int. Conf. on Solid- State Sensors and Actuators, volume 1, pages 33-36, Chicago. | |
| dc.citation.journalTitle | Вісник Національного університету “Львівська політехніка” | |
| dc.citation.issue | 534 : Радіоелектроніка та телекомунікації | |
| dc.citation.spage | 147 | |
| dc.citation.epage | 152 | |
| dc.coverage.placename | Львів | |
| dc.coverage.placename | Lviv | |
| dc.subject.udc | 621.3.049 | |
| Appears in Collections: | Радіоелектроніка та телекомунікації. – 2005. – №534
|
