https://oldena.lpnu.ua/handle/ntb/42492
Title: | Моделювання форми рельєфу поверхні напівпровідників у зонах дії мілісекундних та секундних лазерних імпульсів |
Other Titles: | The simulation of surfage semiconductori relief form in zone of milisecond and second laser pulses influence |
Authors: | Кияк, С. Г. Петрович, I. B. Володін, П. В. Могиляк, І. А. |
Affiliation: | Інститут прикладних проблем механіки і математики ім. Я. С. Підстригача НАН України Національний університет “Львівська політехніка” |
Bibliographic description (Ukraine): | Моделювання форми рельєфу поверхні напівпровідників у зонах дії мілісекундних та секундних лазерних імпульсів / С. Г. Кияк, I. B. Петрович, П. В. Володін, І. А. Могиляк // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2001. – № 423 : Електроніка. – С. 15–23. – Бібліографія: 5 назв. |
Journal/Collection: | Електроніка |
Issue Date: | 2001 |
Publisher: | Видавництво Національного університету "Львівська політехніка" |
Country (code): | UA |
Place of the edition/event: | Львів |
UDC: | 539.315 |
Number of pages: | 15–23 |
Abstract: | Проведено моделювання рельєфу поверхні для періодичних структур проплавів иа аморфних та кристалічних зразках Si після їх імпульсного лазерного опромінення. Зроблено розрахунок для проплавів, які мають форми з виступами та впадинами в центрах цих утворень. Результати розрахунку узгоджено з даними експерименту. The surface relief modeling for periodic fusing structures on amorphous and crystalline Si samples after their pulse laser irradiation is carried out. The computation for fusing structures, which have the forms with bulges and hollows in centers of these formations, is done. The computation results confirm experimental data. |
URI: | https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/42492 |
Copyright owner: | © Кияк С. Г., Петрович I. B., Володін П. В., Могиляк І. А., 2001 |
References (Ukraine): | 1. Laser annealing of semiconductors (Edited by J.M.Poate, James WMayer) Academic Press. -New York, 1982. 2. Prokhorov AM, Bonchik A.Yu, Kiyak S.G., Manenkov A.A., Mikhailova G.N., Pokhmurskaja A.V., Seferov AS, Ursu I., Craciun V., Mihailescu I.N.// Appl. Surf. Sä, 1989. -43. -340. 3. Pokhmurska A, Bonchik 0., Kiyak S., Savitski G., Gloskovski A // Appl. Surf. Sci, 2000. 712. P.154-155. 4. Бончик А.Ю., Гафийчук В.В., Кияк С.Г., Савицкий Г.В.// Поверхность (физика, химия, механика), 1986. - №5. - 142. 5. Кияк С.Г., Бончик А.Ю., Гафийчук В.В., Южанин А.Г., Тислюк И.В., Похмурская А.В. // Изв. АН СССР. Сер. Физическа, 1988. - 52. - 2276. |
Content type: | Article |
Appears in Collections: | Електроніка. – 2001. – №423 |
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
4_15-23.pdf | 191.13 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.