Метод оптимізації дисперсійних характеристик тонкоплівкових оптичних матеріалів

Abstract

Розроблено програмне забезпечення для визначення дисперсій показників заломлення і поглинання тонкоплівкових оптичних матеріалів за експериментальною залежністю коефіцієнта пропускання чи відбивання тонкої плівки від довжини хвилі. Визначені оптичні константи деяких тонкоплівкових матеріалів на основі тугоплавких окислів, осаджених методом електронно-променевого розпилення у вакуумі. Досліджені залежності дисперсійних характеристик від умов осадження плівок та вибрані оптимальні технологічні режими. The software for determination of dispersion of refraction index and absorption index of thin-film optical materials with experimental dependence of a transmission factor or reflection factor of a thin film from wave length is developed. The optical constants of some thin-film materials of refractory oxides deposited by a method of electron-beam evaporation in vacuum are determined. Dependencies of dispersing from conditions of a evaporation of thin-films are investigated and the optimum technological modes are selected.