Структурні перетворення в тонких плівках оксиду ітрію у процесі високотемпературного відпалу

Abstract

Досліджено вплив високотемпературного відпалу на структуру тонких плівок Y2O3:Eu, отриманих високочастотним іонно-плазмовим розпиленням. Проведений рентгеноструктурний аналіз показав, що підвищення температури термообробки вище від 1330К призводить до часткового поліморфного перетворення кубічної С-форми у моноклінну В-форму оксиду ітрію. Отримані результати корелюють з люмінесцентними дослідженнями плівок Y2O3:Eu. The temperature annealing influence on thin-film structure was investigated. Consequences of X-ray structural analysis are that increasing thermal treatment temperature higher than 1330K results to partial polymorphic transformation of cubic C-form to monoclmic B-form of yttrium oxide. The obtained results has a good correspondence with luminescent investigations of Y2O3 films.