| Title: | Оцінки функціонування та точності вимірювання площ мікрооб’єктів скануючим оптичним мікроскопом |
| Authors: | Николишин, М. Й. |
| Bibliographic description (Ukraine): | Николишин М. Й. Оцінки функціонування та точності вимірювання площ мікрооб’єктів скануючим оптичним мікроскопом / М. Й. Николишин // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2008. – № 618 : Радіоелектроніка та телекомунікації. – С. 16–21. – Бібліографія: 3 назви. |
| Issue Date: | 2008 |
| Publisher: | Видавництво Національного університету "Львівська політехніка" |
| Abstract: | Розглянуто оцінку функціонування скануючого оптичного мікроскопа, а також
його точності під час вимірювання площ мікрооб’єктів. Для покрокового сканування
досліджуваного об’єкта, яке використовується у скануючому оптичному мікроскопі,
проаналізовано чинники, що впливають на точність вимірювання. Estimation of scanning optical microscope functioning is reviewed as well as its precision
at microobjects squares measuring. Factors, influencing to the measuring precision at
specimen under investigation step scanning used in scanning optical microscope are analyzed. |
| URI: | https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/33959 |
| Content type: | Article |
| Appears in Collections: | Радіоелектроніка та телекомунікації. – 2008. – №618
|
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
