Please use this identifier to cite or link to this item:
https://oldena.lpnu.ua/handle/ntb/31152
| Title: | Оптимізація товщини розпилених плівок для комірки пеннінга |
| Authors: | Шандра, З. А. |
| Bibliographic description (Ukraine): | Шандра З. А.Оптимізація товщини розпилених плівок для комірки пеннінга / З. А. Шандра // Вісник Національного університету «Львівська політехніка». – 2004. – № 512 : Елементи теорії та прилади твердотілої електроніки. – С. 82–86. – Бібліографія: 6 назв. |
| Issue Date: | 2004 |
| Publisher: | Видавництво Національного університету «Львівська політехніка» |
| Abstract: | Подано результати моделювання напилення тонких плівок в комірці Пеннінга з секційним анодом, визначено вплив геометрії пристрою розпилення на рівномірність плівок по товщині. In this work give the optimization of sputtered film thickness distribution on planar surfaces results for Penning’s cell. |
| URI: | https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/31152 |
| Content type: | Article |
| Appears in Collections: | Елементи теорії та прилади твердотілої електроніки. – 2004. – № 512
|
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
