https://oldena.lpnu.ua/handle/ntb/31151| Title: | Лазерно-стимульоване осадження тонких плівок для виготовлення інтегральних мікросхем |
| Authors: | Дорош, Н. В. Кучмій, Г. Л. Смеркло, Л . М. Горбулик, В. І. |
| Bibliographic description (Ukraine): | Лазерно-стимульоване осадження тонких плівок для виготовлення інтегральних мікросхем / Н. В. Дорош, Г. Л. Кучмій, Л. М. Смеркло , В. І. Горбулик // Вісник Національного університету «Львівська політехніка». – 2004. – № 512 : Елементи теорії та прилади твердотілої електроніки. – С. 98–101. – Бібліографія: 2 назви. |
| Issue Date: | 2004 |
| Publisher: | Видавництво Національного університету «Львівська політехніка» |
| Abstract: | Проаналізовано методи лазерно-стимульованого осадження тонких плівок та наведено оптимальні режими лазерного осадження міді та нікелю. In a paper the methods of laser-induced precipitation of thick film were carried out. The optimal regimes of laser precipitation of copper and nickel were presented. |
| URI: | https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/31151 |
| Content type: | Article |
| Appears in Collections: | Елементи теорії та прилади твердотілої електроніки. – 2004. – № 512 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 20_98-101.pdf | 136.81 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.