https://oldena.lpnu.ua/handle/ntb/30730| Title: | Аналіз доцільності побудови сенсорів мікроелектромеханічних систем на активних напівпровідникових елементах |
| Authors: | Матвійків, М. Д. Лобур, М. В. Теслюк, В. М. Матвійків, Т. М. |
| Bibliographic description (Ukraine): | Аналіз доцільності побудови сенсорів мікроелектромеханічних систем на активних напівпровідникових елементах / М. Д. Матвійків, М. В. Лобур, В. М. Теслюк, Т. М. Матвійків // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2006. – № 557 : Радіоелектроніка та телекомунікації. – С. 20–24. – Бібліографія: 3 назви. |
| Issue Date: | 2006 |
| Publisher: | Видавництво Національного університету "Львівська політехніка" |
| Abstract: | Проаналізовано доцільність побудови сенсорів мікроелектромеханічних систем (МЕМСів) на активних напівпровідникових елементах–діодах та транзисторах. Analyzed expediency the structure of the microelectromechanical systems (MEMS) sensors on the active semiconductors - diodes and the transistors. |
| URI: | https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/30730 |
| Content type: | Article |
| Appears in Collections: | Радіоелектроніка та телекомунікації. – 2006. – №557 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Vis_557.20-24.pdf | 549.21 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.