State and prospects of computerized systems monitoring the topology of surfaces, based on white light іnterferomertry

Abstract

This paper describes a computerized system for object topology control based on a white light interferometer. The theoretical fundamentals of white light interferometry and mathematical model of an interferogram are presented. An overview and comparative analysis of methods for the reconstruction of the topology of surfaces based on a white light interferogram are performed, their main advantages and disadvantages are defined, and the objectives for the development of computerized systems are formulated. Описано комп’ютеризовану систему контролю топології об’єкта на базі інтерферометра білого світла. Подано основні теоретичні відомості оптичної інтерферометри та наведено математичну модель інтерферограми. Проведено огляд та порівняльний аналіз методів реконструкції топології поверхні із інтерферограми білого світла, визначено їх основні переваги та недоліки, а також сформульовано завдання щодо розвитку комп’ютеризованих систем.