Дослідження додаткових похибок теплового витратоміра-задавача масової витрати газових потоків F260

Abstract

У роботі розглянуто вплив температури та тиску на точність роботи витратоміра-задавача масової витрати F260. Експериментально встановлено обсяг дестабілізації значення витрати, внаслідок зміни температури приладу та зміни тиску в системі. Досліджено структуру і принцип роботи капілярного термічного сенсора у приладі. Встановлено умови, за яких похибка у роботі приладу не перевищує ±1% від повної шкали. Наведено рекомендації щодо налаштування приладу для якісної роботи. The influence of temperature and pressure on the accuracy of the mass flow controller F260 was considered in the paper. Destabilization amount of the flow rate due to changes in device heating temperature and pressure changes were determined in the working system experimentally. Investigation of the structure and operation principle of the thermal sensor in the device was provided. Establish conditions when the error in the instrument does not exceed ± 1% of full scale. Recommendations to configure the device for high-quality work were provided.