https://oldena.lpnu.ua/handle/ntb/14231| Title: | New approach for modeling processes of doping redistribution during oxidization |
| Authors: | Berezhansky, Volodymyr |
| Bibliographic description (Ukraine): | Berezhansky V. New approach for modeling processes of doping redistribution during oxidization / Volodymyr Berezhansky // Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій, комп’ютерної інженерії : матеріали ХІ Міжнародної конференції TCSET2012, присвяченої 60-річчю заснування радіотехнічного факультету у Львівській політехніці, 21-24 лютого 2012 року, Львів, Славське, Україна / Національний університет «Львівська політехніка». – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2012. – С. 545. – Bibliography: 2 titles. |
| Issue Date: | 2012 |
| Publisher: | Видавництво Львівської політехніки |
| Keywords: | quasilinear process The Deale-Grove’s model interphase border numerical methods diffusive-oxidizing processes |
| Abstract: | Redistribution of doping during diffusive-oxidizing processes is simulated. The optimal technological conditions of diffusive oxidizing processes is determined. |
| URI: | https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/14231 |
| Content type: | Article |
| Appears in Collections: | Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій, комп'ютерної інженерії (TCSET’2012). – 2012 р. |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.