Вплив частоти сигналу на точність пристроїв на поверхневих акустичних хвилях

Abstract

Досліджено вплив частоти сигналу, що обробляється, на точність параметрів пристроїв на поверхневих акустичних хвилях (ПАХ). Показано, що внаслідок наявності різниці величини приповерхневих та внутрішніх механічних напружень у разі збільшення частоти сигналу зменшується точність пристроїв на ПАХ. Запропоновано методи збільшення точності високочастотних пристроїв на ПАХ. In this paper effect of signal frequency, which is processed by surface acoustic wave (SAW) device, on precision of SAW device parameters is investigated. It was found that due to difference between values of internal mechanical and near-surface stresses with rising of signal frequency precision of SAW devices will be reduced. Methods for rising of high frequency SAW devices precision where suggested.