| Preview | Issue Date | Title | Author(s) | Preview | Type | Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2001 | Особливості двостороннього хіміко-механічного полірування (ХМП) пластин кремнію | Завербний, І. Р.; Кузьо, Г. Д.; Чегіль, І. І.; Гринь, Г. В.; Лаушник, Г. Ф.; НВП “Карат”; ТзОВ “Пролог Семікор”; НТЦ “Мікроелектроніка” | Article | 2001 | Особливості двостороннього хіміко-механічного полірування (ХМП) пластин кремнію | Завербний, І. Р.; Кузьо, Г. Д.; Чегіль, І. І.; Гринь, Г. В.; Лаушник, Г. Ф. |