| 1-Mar-2005 | Керування дефектністю приповерхневих шарів кремнієвої структури через зміну фононного тиску, викликаного проходженням через кристал лазерної ударної хвилі | Ковалюк, Богдан Павлович; Нікіфоров, Юрій Миколайович; Kovalyuk, B. P.; Nikiforov, Yu. N.; Тернопільський державний технічний університет ім. Івана Пулюя | | Article | 1-Mar-2005 | Керування дефектністю приповерхневих шарів кремнієвої структури через зміну фононного тиску, викликаного проходженням через кристал лазерної ударної хвилі | Ковалюк, Богдан Павлович; Нікіфоров, Юрій Миколайович; Kovalyuk, B. P.; Nikiforov, Yu. N. |